世界上第一臺機是英國的 FERRANTI 公司于 1959 年研制成功，當時(shí)的測量方式是測頭接觸工件后，靠腳踏板來(lái)記錄當前值，然后使用計算器來(lái)計算元素間的位置關(guān)系。到 20 世紀 60 年代末，已有近十個(gè)國家的三十多家公司在生產(chǎn) CMM，不過(guò)這一時(shí)期的 CMM 尚處于初級階段。
隨著(zhù)計算機的飛速發(fā)展，測量機技術(shù)進(jìn)入了 CNC 控制機時(shí)代，完成了復雜機械零件的測量和空間自由曲線(xiàn)曲面的測量，測量模式增加和完善了自學(xué)習功能，改善了人機界面，使用專(zhuān)門(mén)測量語(yǔ)言，提高了測量程序的開(kāi)發(fā)效率。
從 90 年代開(kāi)始，隨著(zhù)工業(yè)制造行業(yè)向集成化、柔性化和信息化發(fā)展，產(chǎn)品的設計、制造和檢測趨向一體化，這就對作為檢測設備的三坐標測量機提出了更高的要求，從而提出了第三代測量機的概念。
其特點(diǎn)是：
1、具有與外界設備通訊的功能；
2、具有與 CAD系統直接對話(huà)的標準數據協(xié)議格式；
3、硬件電路趨于集成化,并以計算機擴展卡的形式,成為計算機的大型外部設備。
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